前级泵的选配与连接。普通罗茨真空泵是不能单独使用的,必须配上合适的前级真空泵组成机组使用。前级真空泵的作用是降低罗茨真空泵的排出压力,使罗茨真空泵的进、排气压差和压缩比被控制在一定范围内。由于罗茨真空泵的压缩比是有限的,所以选择前级真空泵的抽速很重要。罗茨真空泵的最大压缩比是随排出压力的变化而变化的,在高排出压力下,最大压缩比为3:1,而最高压缩比是在排出压力为1到10mbar之间(1 mbar=0.75Torr)可达40:1,甚至更高些。 选择前级泵的抽速,要根据罗茨真空泵机组的长期工作压力范围来考虑。另外应当考虑的是,对预抽时间长短的要求问题,如果正常工作时间远比预抽时间长,由于罗茨真空泵的压缩比较小,为了使罗茨真空泵机组能达到更高的真空度和更大的抽气速率,可采用多台罗茨真空泵与前级真空泵串联来组成多级罗茨真空泵机组来满足高真空的要求。真空机组的级数是由工作真空度来决定的,一般真空机组的极限真空必须比工作真空高半到一个数量级。根据各个真空系统工作压力有所不同,在选配机组时必须掌握以下几点: 1. 主泵必须在其最佳工作范围内工作; 2. 主泵或中间泵与前级泵的压缩比不得其超过允许范围; 3. 前级泵与第一级罗茨泵的配比尽可能小,当前级泵性能有所下降时,对 系统的抽真空性能不会有大的影响 |