罗茨真空泵是一种容积式真空泵，又称机械增压泵，其优点是在较低的入口压力时具有较高的抽气速率，是目前获得中高真空泵的主要真空泵之一。罗茨真空泵不允许高压差工作，否则将会过载或过热而损坏，因此使用罗茨真空泵必须合理地选用前级真空泵，安装必要的保护设备。

主要特点：
      1、在很宽的压强范围（1~1×10 4pa)有较入的抽速。
      2、泵腔无油，避免了油蒸汽污染真空系统。
      3、振动小、噪声小。
      4、机械摩擦损失小，故驱动功率小。
      5、易于维护和维修，费用低，寿命高。
      6、可抽除可凝性气体。
      7、不可单独使用，必须配置前置泵。不允许在人气压力下启动，待前级泵将罗茨泵压力抽到允许入口压力时方可启动。前级泵一般为水环式真空泵，油环式真空泵，油封式机械泵等。
      8、针对抽除水蒸气及有机溶剂的特点作了改进，解决了轴承腔泵油的乳化问题。

注：以上极限压力为罗茨真空泵配用相应的旋片真空泵或滑阀真空泵作前级泵时测得的数值，若采用液环真空泵、往复泵、螺杆真空泵等作为前级泵，机械压力会发生相应变化，具体数值清参阅相应机组参数。